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點(diǎn)擊 9633回答 0 2011-05-18 20:56

豐常令人頭痛的問題-裂紋

已關(guān)閉 懸賞分:0
虛心請教高手們一個我解決不了的問題,在這里先行謝過!!
我們現(xiàn)使用梅耶博格的BS805帶鋸進(jìn)行單晶棒的開方,但是,最近在晶棒底部出現(xiàn)裂紋,我降低過出刀時(shí)工作臺的進(jìn)給速度,也做過其它的一些其它的實(shí)驗(yàn),甚至加快過出刀時(shí)的進(jìn)給速度人,但是一點(diǎn)效果都沒有。這種裂紋嚴(yán)重會導(dǎo)致晶棒底崩裂,輕的有細(xì)小紋路及亮點(diǎn)。而且現(xiàn)在裂紋出現(xiàn)沒有規(guī)律,時(shí)有時(shí)無。請問這種裂紋的產(chǎn)生是不是因?yàn)榍懈钤斐傻?,怎么解決?是不是單晶棒本身的問題?
急盼回應(yīng),謝謝

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